智慧觸覺如何應用在半導體業

馬森科技應用範疇
將感測數據從「監測」升級到「預測」與「最佳化」,最後「自適應判斷」
馬森科技專注半導體與精密製程自動化,將感測、即時監測、資料分析與系統整合串聯成可追溯的智慧製造方案,目標是以技術降低風險、縮短排查時間並提升整體良率。
智慧晶舟盒
在客戶的一次外包搬運中,智慧晶舟盒成功記錄到多次短暫振/震動與溫濕波動,系統自動提示轉單延後並封存受影響批次,避免了大規模報廢。
- 核心功能:將現行RFID技術提升自動定位與夾持;微環境監測(粒子、溫濕);資料追蹤與MES/ERP串接;碰撞偵測與緊急停機。
- 客戶價值:提升晶圓完整率;降低人工污染風險;端到端製程追溯,縮短問題排查時間。
智慧牙叉
在半導體製程上,智慧牙叉透過力覺感測攔截了數次微小位移所可能造成的破片、刮片,並提前三色燈警報氣壓失效、機械手臂累進誤差等狀況進而降低報廢率。
- 核心功能:高靈敏力量感測;微位移補償演算法;高速穩定作業;晶圓重量檢知;模組化機械與通訊接口。
- 客戶價值:降低拿取失誤與損傷;提升設備與產線效率;快速整合現有自動化系統。
智慧晶圓研磨
工程師在調整薄化目標時,系統自適應演算法自動修正研磨力道與路徑,使第一輪試產即達成目標厚度並減少返工次數。
- 核心功能:嵌入式設計即時厚度監測;自適應研磨演算法;多材料參數庫;殘次偵測。
- 客戶價值:降低破損與重工成本;提高薄化一致性與良率;縮短工藝優化週期。
馬森科技的每一項產品都源自真實生產中的問題,強調「預防優先」與「資料驅動」的策略。若需產品規格、客製化整合或現場評估,提供製程條件、材料與產能目標,我們將依據實際需求制訂導入計畫並支援試產驗證。